Леонид Синев » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2014-09-01 Опубликовано на SciPeople2015-02-02 22:04:37 ЖурналНано- и микросистемная техника

Расчет коэффициентных напряжений в соединениях кремния со стеклом

Синев Л. С., Рябов В. Т. / Леонид Синев

Синев Л. С., Рябов В. Т. Расчет коэффициентных напряжений в соединениях кремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. 2014. № 9. С. 32—37.

Аннотация Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы коэффициентов теплового линейного расширения материалов. Представлено описание способа расчета напряжений в сборке в соответствии с теорией слоистых композитов. Приведены расчетные распределения коэффициентных напряжений внутри соединенных материалов разных толщин.