Леонид Синев » Публикация

Аннотация Представлены результаты обработки измерений ТКЛР и относительного удлинения боросиликатных стекол двух марок – ЛК5 и Borofloat 33. Термомеханическим анализатором TMA7100 было измерено удлинение образцов стекла в интервале температур от 130 до 800 К (от минус 143 до 526 °C). Относительная погрешность косвенных измерений ТКЛР и относительного теплового удлинения стекол обеих марок не превышает ±5 и ±3 % соответственно. Представлены полиномиальные уравнения, аппроксимирующие полученные результаты измерений в зависимости от температуры. Полученные результаты облегчат задачи моделирования характеристик приборов микросистемной техники, изготавливаемых с применением анодной посадки кремния на стекло, а также их можно использовать для оптимизации температурного режима соединения кремния со стеклом. Проведённые измерения могут способствовать импортозамещению зарубежной марки стекла в отечественных изделиях микросистемной техники.